| 具有高空间分辨成像能力的共焦干涉显微镜 |
| CN200410096338.8 2004-11-30 发明申请 |
| 2005-5-11 |
| 本发明属于光学显微成像及微观测量技术领域， 涉及一种具有高空间分辨成像能力的共焦干涉显微镜。该显微 镜采用共焦干涉显微成像技术来改善共焦 显微镜的轴向分辨力，采用超分辨光瞳滤波技术来改善共焦显 微镜的横向分辨力，继而达到改善共焦显微镜的空间分辨成像 能力。该显微镜包括光源部分(1)，依次放在光源发射端的扩束 准直镜(2)、光瞳滤波器(3)、分光镜(4)、放置在分光镜(4)反射 光束传播路径上的物镜(5)，包括用于反射分光镜(4)透射光束的 参考反射镜(6)，还包括汇聚测量光束和参考光束的聚光镜(7) 和放置在聚光镜(7)焦点上的探测器(8)。该共焦干涉显微镜可用 于测量样品的三维表面形貌、三维微细结构、微台阶、微沟槽 和集成电路线宽等。 |
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