| 电子检测系统用于一种扫描电子显微镜 |
| WOPL04000079 2004-10-6 发明申请 |
| 2005-5-6 |
| 用于一种扫描电子显微镜所述电子检测系统被安装在所述头体(1)，聚四氟乙烯制成的。在所述的下部分所述头体(1)，所述下所形成的节流孔(2)的所述金属板与所述电子束的一小孔在所述轴我们是放置。所述下节流孔(2)上方，所述微多孔板(3)是位于。所述微多孔板(3)具有一个在所述轴的所述电子束孔我们，其中所述屏幕中管(4)是通过紧固装置的所述的聚四氟乙烯密封。在所述微多孔板(3)，闪烁器(5)被对称地设置所述电子束我们轴的周围。与所述的光闪烁器(5)被连接管(6)，其导致光电倍增管。 |
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