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振荡扫描探针显微镜

US10700794 2003-11-4 发明申请

2005-5-5

本发明提供一种扫描探针显微镜，其使用简单，制造成本低，扫描速度快，适用范围广。振荡传感器具有高谐振频率。因为使用振荡器，所以不需要激光器的对准。此外，可以以更快的速度实现探针接近和扫描。