| 用于扫描隧道显微镜的步进电机 |
| CN200310103439.9 2003-10-31 发明申请 |
| 2005-5-4 |
| 本发明公开了一种用于扫描隧道显微镜的步进 电机。该步进电机包括一底座以及一移动块，该移动块可相对 于底座移动。该步进电机还包括一容性定位传感器，该传感器 为至少一个平板型电容器，该至少一个的平板型电容器的第一 极板位于步进电机的底座的上表面，该电容器的第二极板位于 步进电机的移动块的下表面。采用本发明的 步进电机可通过测量容性定位传感器的电容值来测量电机的 位移量，并在几毫米的范围内达到纳米尺度的精确定位。另外 本发明的步进电机还可以用于薄膜生长，可控地在纳米尺度移 动物体等诸多方面。同时它还具有结构紧凑、适于在低温下工 作的特点。 |
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