| 系统被设计成检测中的电子扫描电子显微镜 |
| PL36313103 2003-10-27 发明申请 |
| 2005-5-2 |
| 用于扫描电子显微镜的电子检测系统安装在头本体(1)，由聚四氟乙烯制成。在头本体(1)的下部，下节流小孔的金属板(2)的形式的轴心处有一小孔电子束(We)被放置。下节流孔(2)的上方，所述微孔板(3)的位置。所述微孔板(3)具有孔的电子束我们在轴上，其中通过筛管(4)固定的特氟龙密封。在微孔板(3)，闪烁体(5)的电子束我们轴的四周对称地设置。闪烁器(5)连接导致的光电倍增管，光管(6)。 |
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