| 软X射线显微镜的带片与标本对准光学系统 |
| KR1020030074055 2003-10-23 发明申请 |
| 2005-4-29 |
| 目的：提供一种软X射线显微镜的波带片和样本对准光学系统，通过使用现有的驱动器来移动安装在真空室外部的成像透镜，来降低额外驱动器的成本。 构造：真空室(1)包括透明窗(9)。 光收集单元(3)通过使用样本(7)从软X射线源(2)收集软X射线。 提供波带片(4)以通过软X射线检测器(8)收集从样本(7)发射的软X射线。 物镜(19)安装在与样品(7)和波带片(4)的方向相同的方向上，以将可见光线收集到样品(7)或波带片(4)。 反射镜(17)布置在与物镜(19)的方向相同的方向上，以反射可见光线。 准直透镜(30)安装在从可见光线源(15)输出的可见光线的行进路径中。 光分路器(16)安装在行进路径中，以部分地透射可见光线并部分地反射可见光线。 成像透镜(22)安装在光分路器(16)的一侧以形成图像。 所述成像透镜(22)中安装有驱动器。 提供可见光线检测器(21)以检测来自图像形成透镜(22)的可见光线。 ?KIPO 2006 |
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