| 传输电子显微镜配备与相位板和透镜系统,用于相位板 |
| JP2003349833 2003-10-8 发明申请 |
| 2005-4-28 |
| 要解决的问题 : 以提供一传输电子显微镜具有一个相位板和一相位板的透镜系统通过其一个图像可以被稳定地得到高的质量。溶液 : 所述图像形成系统中所述图像上侧比一个物镜,一个相位板设置在所述后侧比所述物镜的后焦平面,和一个相位板的透镜系统,其形成所述的后焦平面一个共轭的平面所述物镜之间设置物镜和所述相位板,和一个防磁管具有一个磁屏蔽结构由一高磁导率的材料是提供在所述电子束通道通过所述相位板的周围。 |