| 各向异性的摩擦扫描探针显微镜数据的采集方法 |
| JP2003339805 2003-9-30 发明申请 |
| 2005-4-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一种各向异性的摩擦一种扫描探针显微镜数据的采集方法能够获取各向异性所述样品表面上的摩擦一个微小区中的数据，当测量所述表面上的各种特性的一晶片或所述等。溶液 : 该扫描探针显微镜是配备有一悬臂21具有一探头20，测量部分24，32，用于测量所述探针和样品之间产生的物理量12，和移动机构14，15，29，用于允许以执行扫描操作，通过改变所述探针和样品的相对位置。在所述扫描探针显微镜，同时保持所述物理量恒定在该测量部件，所述样品表面被通过所述探头扫描通过所述移动机构，从而测量所述样品表面。在所述扫描探针显微镜，一种方法是执行，其中所述的横向方向中的一个相对精细位移被独立地施加在所述正交双轴方向在该状态，其中一个所述样品之间产生摩擦和所述探头，和每个相关的数据到所述摩擦在所述的双轴方向被获取。 |
微信公众号