| 错误的扫描探针显微镜测量的验证方法 |
| JP2003339806 2003-9-30 发明申请 |
| 2005-4-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一错误的测量可验证的验证方法准确的错误测量诸如测量开始位置偏差，当样品进行列直插式的自动检查诸如晶片通过利用一个扫描探针显微镜。溶液 : 该扫描探针显微镜是配备有一悬臂21具有一探头20，测量部分24，32，或该等，用于测量所述探针和样品之间所产生的原子间力时扫描该样品12表面通过所述探针或等，样品台11和一光学显微镜18。所述扫描探针显微镜中，SMP测量是通过执行所述测量部分。在所述SMP测量，这种错误的测量被执行的验证方法，其包括一步骤，用于存储一个光学显微镜图像在每个所述测量部分测量的开始位置在所述样品表面，一个步骤，用于存储一个通过测量由所述测量部分获取的图像，一个步骤，用于比较所存储的光学显微镜的图像与所述图像; 和一步骤，用于确定是否该测量是正常或异常之间通过比较基于所获取的差所述的光学显微镜的图像和所述的图像。 |
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