| 电子\/二次离子显微镜装置 |
| JP2003338330 2003-9-29 发明申请 |
| 2005-4-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一个电子\/二次离子显微镜装置(例如，一个光电子显微镜)可去除的一种球面像差和色差的一个成像光学系统中，以便获得一个高-分辨率观察图像。溶液 : 本发明的电子\/二次离子显微镜装置被提供有 : 一成像光学系统用于光电子，二次发射的电子或二次离子为真空从一种物质作为一个观察对象的一个表面通过使用短波长的电磁波包括光波作为一激发光源; 一控制机构用于快速改变所述成像光学系统的焦点位置; 一个图像检测装置，用于积分和一种成像表面上存储的图像，同时改变焦点位置; 和一个上部空间频率加重滤波机构，用于从一个图像检测器获得的图像信息; 和用于去除所述球面像差和所述的色像差的影响所述成像光学系统。通过所述的电子\/二次离子显微镜的装置，该球面像差和在所述的电子\/二次离子显微镜等装置可以被除去，和一个高-分辨率无像差的观察图像可以被提供。 |
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