| 测试片支架用于电子显微镜，电子显微镜 |
| JP2003342926 2003-10-1 发明申请 |
| 2005-4-21 |
| 要解决的问题 : 实现高分辨率的观察电子源的结构改变，同时监控场致发射性能与高精度。溶液 : 反电极， 可线性移动的试件的轴线上，直到接触与测试件设置在 一种位置朝向所述测试件发射电子的平均测试件之间施加电压， countereletrode设置在电子显微镜试片架。 电子显微镜测试件固定座上设置有反电极的表面朝向所述测试片 为近似平坦的表面的材料的二次电子产率低。 所述电子显微镜试片架上设有的时候，其为近似平面与 表面朝向所述测试件构成从材料具有低的二次电子产率， 或空心体设有开口部中的一个近似平坦表面的一部分与反电极 与至少一个内壁部分的空心体，由产率低的材料 用于次级电子和机构来冷却所述测试片。 |
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