| 原子力显微镜数据分析系统和方法 |
| US10686738 2003-10-17 发明申请 |
| 2005-4-21 |
| 提供了一种用于分析AFM数据的系统和方法。 所述系统和方法可与原子力显微镜(AFM)系统结合使用，所述原子力显微镜(AFM)系统包括悬臂，所述悬臂具有用于分析样品的尖端，所述AFM输出AFM数据文件。 本发明的一个示例性实施例包括 : 计算机可读介质，存储用于使计算机接收关于要执行的分析和分析参数的用户输入的计算机可读程序代码； 基于用户输入来解析AFM数据文件，以获得悬臂的偏转； 至少部分地基于所述偏转确定所述尖端在所述样品中的压痕深度； 基于用户输入选择接触力学模型； 使用所确定的压痕深度基于输入分析求解所选择的接触力学模型； 以及确定残余误差。 |
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