| 力扫描探针显微镜 |
| US10756579 2004-1-13 发明申请 |
| 2005-4-21 |
| 一种在样品上进行力测量的力扫描探针显微镜(FSPM)和相关方法，包括压电扫描器，该压电扫描器具有支撑样品以便在三个正交方向上移动样品的表面。 FSPM还包括位移传感器，该位移传感器测量样品在垂直于表面的方向上的移动，并产生相应的位置信号，以提供闭环位置反馈。 另外，探针相对于压电扫描器固定，而偏转检测装置用于感测探针的偏转。 所述FSPM还包括控制器，所述控制器基于所述位置信号生成扫描器驱动信号，并且适于根据用户定义的输入操作，所述用户定义的输入能够在数据采集期间改变力曲线测量参数。 |
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