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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

使用扫描电子显微镜扫描半导体晶片的方法和装置

US10649599 2003-8-26 发明授权

2005-4-19

本发明公开了一种用于扫描样品表面以用于缺陷检查的装置和方法。扫描电子显微镜(SEM)用于扫描样品的表面。 SEM所使用的扫描方法包括以下步骤 : 从粒子束发射器产生粒子束，并且通过将粒子束相对于样品表面弯曲一个角度来扫描样品表面，其中粒子束穿过一个不平行或不垂直于样品取向的角度。扫描的样品是半导体晶片或光掩模。