| 用于检测二次系统和后向散射电子，用于在扫描电子显微镜 |
| PL36282603 2003-10-14 发明申请 |
| 2005-4-18 |
| 一种系统，用于检测二次中和背散射的电子扫描电子显微镜包括一个微孔板(9)，其被设置在下闪烁体(5)和上闪烁体(12)。下闪烁体(5)朝向样品台(11)。一可动的隔膜(14)具有孔(15)位于前端的光电倍增管(7)和相应端部上的导光体(13)和下导光(6)。内的中间室(3)，至少一个聚焦电极(8)放置，其孔位于同轴的孔的微孔板(9)。聚焦电极(8)位于所述下表面上的闪烁器(5)。 |
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