| 细加工的方法，使用原子力显微镜 |
| JP2003319361 2003-9-11 发明申请 |
| 2005-3-31 |
| 要解决的问题 : 以提高一个处理质量和一个加工精度的一种精细处理装置利用一个原子力显微镜。溶液 : 一聚焦离子束装置是结合在一细处理装置利用一种原子力显微镜，和通过使用细处理能力的一聚焦离子束8在蚀刻或沉积，一种原子力显微镜的加工探头11用于处理，去除所述探头11上的沉积，形成的一个漂移标记，一个垂直段处理; 划线的线的制造一处理部，和一个开槽用于避免应力浓度在一个处理工作开始点被执行，从而覆盖缺陷的一种单细处理装置利用所述原子力显微镜和增强一种加工质量和一个加工精度。 |
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