| 扫描型探针显微镜 |
| JP2003314033 2003-9-5 发明申请 |
| 2005-3-31 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描型探针显微镜与自动测量通过所述扫描控制发光能量型探针显微镜用于在在线检查，以增强所述的自动测量的测量精度。溶液 : 这种扫描型探针显微镜是具有一个悬臂21具有一探针20相对的到一个样品12，一种测量部分(光杠杆型光学显微镜和反馈伺服控制回路)用于测量原子间力或所述所述探针和样品之间产生的等当所述探针扫描所述样品的表面，和一个移动机构用于改变所述探针和样品的相对位置以进行扫描操作。所述扫描型探针显微镜是提供进一步与一种获取-注册装置，用于获取和注册的参考图案用于对准，和一配方形成装置，用于配方-注册所述的发光能量以照度当登记图像图案通过所述采集-注册到一配方的装置。 |
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