| 扫描探针显微镜 |
| JP2003315132 2003-9-8 发明申请 |
| 2005-3-31 |
| 要解决的问题 : 以符合指定的扫描区域与一个实际扫描区域，以允许精确测量减少在一个误差，通过测量由于温度变化的静电容量，和通过基于灵敏度校正的扫描器在所述静电容量，在温度变化的扫描探针显微镜。溶液 : 该扫描探针显微镜用于检测探针和样品之间的原子间力作用或一个隧道电流在其中被提供用于扫描所述探针与一压电扫描本体相对与相对于该样品，静电容量测量装置用于测量所述的压电扫描所述的静电容量体，和一个扫描电压产生装置，用于提供一种用于扫描通过所述的压电扫描电压体在响应于所述的静电容量测量通过所述静电容量测量装置。 |
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