| 扫描探针显微镜 |
| JP2003315133 2003-9-8 发明申请 |
| 2005-3-31 |
| 要解决的问题 : 以进行烘烤，用于一个超高真空扫描探针显微镜包括一个部件，不耐热性在一烘烤温度，包括一种树脂，粘接剂或等，在所述的显微镜。溶液 : 该扫描探针显微镜用于检测探针和样品之间的原子间力作用或一个隧道电流在其中具有一种样品的观察室提供空气-紧密，一气体排气装置，用于排出气体，该样品观察室中; 一内腔室连接到所述样品的观察室，一冷却装置具有所述内腔室在其内部和用于冷却所述内腔室，和一加热装置设置在所述内腔室和用于进行烘烤。 |
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