| 用于原子力显微镜的有源探针及其使用方法 |
| US10966619 2004-10-15 发明申请 |
| 2005-3-31 |
| 一种AFM，其将AFM Z位置致动器和自致动Z位置悬臂(均可在循环模式和接触模式下操作)与适当的嵌套反馈控制电路组合，以实现高速成像和精确的Z位置测量。 一种用于分析环境空气或流体中的样品表面的AFM的优选实施例包括具有与其集成的Z-定位元件的自致动悬臂和振荡器，所述振荡器以大体上等于所述自致动悬臂的谐振频率的频率振荡所述自致动悬臂。 所述自致动悬臂的振荡幅度通常等于设定点值。 AFM包括嵌套在第二反馈电路中的第一反馈电路， 其中，第一反馈电路响应于扫描操作期间自致动悬臂的垂直位移而产生悬臂控制信号，并且第二反馈电路响应于悬臂控制信号而产生位置控制信号。 Z位置致动器也包括在第二反馈电路中，并响应于位置控制信号来定位样品。 在操作中，优选地，悬臂控制信号单独指示样品表面的形貌。 在另一个实施例中，第一反馈电路包括用于修改悬臂谐振的品质因数(“Q”)以优化悬臂响应的带宽的有源阻尼电路。 |
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