| 光电发射电子显微镜和使用该显微镜的测量方法 |
| US10937337 2004-9-10 发明申请 |
| 2005-3-31 |
| 本发明提供一种具有用于可靠地进行功函数分布测量或磁畴分布等高分辨率测量的光源系统的光电发射电子显微镜以及使用该光电发射电子显微镜的高灵敏度测量方法。 一种具有激发光源系统的光电发射电子显微镜，其中用来自光源的照射光照射样品，该光电发射电子显微镜使用放置样品的真空室和将照射光聚集在样品表面上的物镜。 物镜容纳在真空室中。 光源可以放置在真空室的外部。 可将使来自光源的照射光大致平行的聚光透镜放置在光源和真空室之间。 在真空室被密封的同时透射照射光的透射窗可以设置在聚光透镜和物镜之间。 如果在聚光透镜和透射窗之间使用用于选择照射光的波长的衍射光栅或用于选择照射光中的圆偏振光的方向的偏振滤光片， 可以对样品表面上的功函数分布或磁畴分布进行高分辨率测量。 |
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