| 转换扫描电子显微镜 |
| SG200303869 2003-6-30 发明申请 |
| 2005-3-30 |
| 一装置，用于将扫描电子显微镜(SEM)扫描透射电子显微镜(STEM)适于被安装在常规SEM，该装置具有一个壳体，可安装在用于样品的SEM和提供支撑由光束被扫描的主出射的电子SEM的物镜，所述壳体限定通路允许传输电子已通过待测标本。该装置可具有磁铁安装在壳体上，用于产生横向磁场的偏转传动内的电子壳体。磁透镜可以用于聚焦所述束安装在壳体的一次电子在样品上。SEM的二次电子检测器可以用于检测从目标发射的二次电子激发发射电子。或者，电子检测器可以安装在用于检测所发送的电子壳体。 |
微信公众号