| 多探头控制台式传感器，用于扫描探针显微镜 |
| RU2003128678 2003-9-26 发明授权 |
| 2005-3-27 |
| 字段 : 扫描探针显微镜。物质 : 装置具有底座，扁平柔性控制台具有控制驱动和硅的探针。硅探针包含一基座。底座是由在一个棱镜形成的，通过一个侧被固定到扁平柔性控制台。相对侧是平行于控制台的平面。巴塞斯被形成的结晶平面111和垂直于平面的柔性控制台。其它两个相对侧形成尖锐的角度相对于平面的柔性控制台。每个棱镜的一个基上形成一个探头，由在形成针状含碳的形成。效果 : 更宽的功能能力。1Cl，8显示 |
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