| 扫描器的扫描探针显微镜与等效 |
| RU2003129299 2003-10-3 发明授权 |
| 2005-3-27 |
| 字段 : 扫描探测显微镜。物质 : 扫描器的扫描探测显微镜与等效包含一个管扫描器，扫描器等效，形成中制成的机械独立管元件的位移。扫描器等效包含运动传感器。扫描器和等效运动元件被连接到控制块。控制电极的相互位置的机械扫描器的独立元件的等效位移是等的相互位置控制适当的扫描器元件的电极。通过比例控制信号的值的变动，扫描器的材料中电场的结构的均一性元件和适当的扫描器它们的等效元件和相似的位移是提供一种。效果 : 更高的扫描精度。1Cl，5显示 |
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