| 近场光源装置及具有该近场光源装置的光学头，光学装置，曝光装置和显微镜装置 |
| US10937387 2004-9-10 发明申请 |
| 2005-3-24 |
| 本发明公开了一种近场光源装置以及具有这种近场光源装置的光学头，光学装置，曝光装置和显微镜装置。 作为一个例子，该近场光源装置具有 : 半导体激光器，该半导体激光器具有环形光谐振器，该环形光谐振器具有通过反射镜部分连接的多个波导；遮光膜，该遮光膜形成在反射镜部分中的一个中并且具有不大于波长尺寸的小开口；以及衍射光栅，该衍射光栅形成在遮光膜上，其中来自半导体激光器的振荡光被衍射光栅衍射，并且被衍射的光耦合到环形光谐振器中的旋转模式。 |
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