| 物镜装置和粒子束显微镜 |
| DE102022114035 2022-6-2 发明授权 |
| 2023-9-21 |
| 本发明的目的是提高可以用设置在粒子束显微镜的粒子束柱内部的检测器检测的二次电子的比例。 根据本发明的物镜组件(1)包括用于将初级粒子束(101)聚焦到样品区域(102)中的物镜(30)，其中物镜(30)具有出射开口(37)，初级粒子束(101)通过该出射开口从物镜(30)的内部出射到物镜(30)的外部空间中； 以及浸没场线圈(40)，用于产生作用在样品区域(102)中的磁场，其中浸没场线圈(40)放置在物镜(30)的外部空间中，靠近出口端口(37)。 根据本发明的粒子束显微镜(100)包括物镜组件(1)、用于产生初级粒子束(101)的初级粒子束源(11)、以及具有对带电粒子(62、65)敏感的检测表面的检测器(61、64)，该检测器布置在粒子束显微镜(100)的与物镜(30)的内部连接的内部(17)中。 |
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