| 扫描探针显微镜 |
| JP2003299514 2003-8-25 发明申请 |
| 2005-3-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于测量所述的电特性的扫描探针显微镜样品能够简化的一种电探针之间的路径和一个测量装置的一个电电路，降低效果的外部电噪声和浮动电容，和促进所述附件和去除的一种内部电电路板而不破坏真空的所述显微镜。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括所述的电气电路板13; 一个机构14用于保持一悬臂; 和一导电销2。所述导电销12具有一支撑所述悬臂的至少一个端表面12a。实现电连接是通过连接所述导电销的所述其它端12到所述的电气电路板13。 |
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