| 用于控制行驶中的方法中的探针扫描探针显微镜 |
| JP2003302991 2003-8-27 发明申请 |
| 2005-3-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一种方法用于控制所述行程的一探针在一个扫描探针显微镜用于容易地控制所述扫描所述探针的一样品表面上行进，同时保持高测量精度，当测量一个部分，或该等，具有一个倾斜时测量所述样品表面上的不规则性。溶液 : 该方法用于控制所述的旅行所述探针在所述扫描探针显微镜包括各自的轻微运动机构23，29，30的X，Y，Z，用于所述探针和样品的相对位置的变化，例如一悬臂21具有面向所述探头20所述样品12，和一个光学杠杆型光学检测器用于原子力测量，或所述探针和样品之间产生的该等，当所述的探针扫描该表面该样品。所述的方法是施加到所述用于测量所述样品表面扫描型探针显微镜的扫描该样品表面通过所述轻微运动机构; 而物理由一个测量部分量被保持恒定，并具有一个用于改变所述方法的特征方向所述的探针，当所述行进方向用于使所述探针更接近于所述样品表面的不同之处在于，从反应方向，当所述探针与所述样品接触的表面至少由一设定值。 |
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