| 扫描电子显微镜装置 |
| JP2003298786 2003-8-22 发明申请 |
| 2005-3-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一种小型化的扫描电子显微镜能观察所述的可选的位置的一大样品，和能够很容易地获得的三-维图像。溶液 : 多个电子-光的透镜筒1被设置面到与所述样品表面3在一个平坦的形状在该框架5的一真空容器。一个压电元件扫描器2扫描位置，其中电子束被施加到该样品3通过改变所述的电子光学透镜筒1的相对位置和所述样品3，和所述的会聚位置调整所述电子束具有相对于所述样品通过垂直移动所述的电子透镜筒1。多个所述的电子透镜筒可以是球面的设置。 |
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