显微镜装置
 
WOJP04009691  2004-7-1  发明申请

2005-1-13
 
  一种显微镜装置具有一物镜透镜(5),一个样品台(3)在其一个样品(2)到被观察被放置,一个传感器的目标(4)附着到所述物镜的一个头部分(5),和一种非接触型传感器(1)附着到所述样品级(3)。所述非接触式传感器(1)检测所述的距离到所述传感器的目标(4)。所述的显微镜装置还具有一个电机(10)用于移动所述的物镜(5)沿所述的光学轴和一控制器(13)用于控制所述电机(10)上的同时,一控制开关(12)是以保持所述所述头部分的所述物镜之间的相对距离(5)和所述样品级(3)基于检测到的信息通过所述非接触式传感器(1)。
 
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