| 扫描探针显微镜 |
| JP2003061187 2003-3-7 发明申请 |
| 2004-9-30 |
| 要解决的问题 : 以提供一个接近一个扫描探针显微镜样品不干扰，降低致动的距离; 提高分辨率，所述扫描探针显微镜观察的一个探头和所述样品通过一个任意位置的比例因子，简单地和容易地进行维护和具有一个紧凑的样品一种扫描电子显微镜阶段由于物镜的透镜是可移动。溶液 : 所述扫描探针显微镜检测该样品放置在一个样本室之间的力作用在一真空和所述面向所述样品探针或电流，和被提供与带电粒子显微镜包括一个带电粒子光束源，用于产生带电粒子光束，一透镜镜筒内部，用于固定所述带电粒子光束源，所述物镜透镜用于聚焦该带电粒子光束在所述样品和一个物镜移动装置，用于改变一个该样品之间的距离和所述移动所述物镜的物镜在所述中心轴的方向所述带电粒子的光束。 |
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