| 用于薄膜厚度计使用原子力显微镜方法有机电致发光装置中的尖端划痕 |
| KR1020030017489 2003-3-20 发明申请 |
| 2004-9-30 |
| 目的 : 一种方法用于测量一个薄的膜厚度是提供以快速和精确地测量该厚度所述薄的膜通过使用一种原子力显微镜在一有机电致发光装置。结构 : 一种预定的部分一薄的膜是通过使用一种原子力显微镜的尖端划伤在这样的一种方式是一种一种有机电致发光装置的底座形成在所述薄膜的下部分是暴露于一种外。当所述基座的一种有机电致发光装置被暴露，所述原子力显微镜的一个模式被转换成一种振动模式和所述薄膜的所述预定部分被扫描，由此获得的原子力显微镜图像数据。一截面高度简档被创建通过使用所述原子力显微镜图像数据。kipo2005 |
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