| 用于扫描探针显微镜的流体输送 |
| US10659737 2003-9-9 发明申请 |
| 2004-6-24 |
| 本发明涉及在SPM探针或纳米工具周围引入气体(或流体)。 为了控制化学活性，例如氧以促进氧化，氩以抑制氧化或清洁干燥空气(CDA)以抑制水分，以控制由于探针或纳米工具的作用而引起的静电荷，并在尖端和衬底区域处和周围提供真空。 本发明也可以产生电流，用于与装置主体上，装置主体内或装置主体附近的有源电子装置一起使用。 另外，通过使用如水的流体， 某些油， 以及与特定尖端结构结合的其它液体，或者可以在尖端自身上的尖端区域(与工件上的模板结构结合)或者在尖端下方的工件上使用放电加工来成形， 以非常小的尺度(10微米至1nm或更小)抛光和去除材料。 |
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