| 使用带电粒子束和来自扫描探针显微镜的形貌数据修复光掩模上的缺陷 |
| US10636309 2003-8-7 发明申请 |
| 2004-6-24 |
| 使用来自扫描探针显微镜或类似装置的形貌数据作为端点检测的替代物，以允许使用带电粒子束系统精确修复相移光掩模中的缺陷。 使用来自缺陷区域的地形数据来创建半透明地形图的显示，该半透明地形图可以叠加在带电粒子束图像上。 操作者可以调节地形图像的密度和两个图像的对准，以便精确地定位光束。 SPM的形貌数据还可用于基于特定点处的仰角和表面角来调整缺陷区域内每个点的带电粒子束剂量。 |
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