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扫描探针显微镜
CN03156917.X 2003-9-15 发明申请
2004-4-21
本发明提供一种既能够有效防止划伤样品,又能 够减少图像失真,从而有利于获得精确表征样品表面形貌的高 分辨率图像的扫描探针显微镜,包括带针尖的微悬臂,其特征 在于:所述微悬臂与振荡装置固定连接;所述针尖位于所述微 悬臂的一端,所述振荡装置位于所述微悬臂的另一端;所述振 荡装置包括压电陶瓷晶体,和对该压电陶瓷晶体的振荡频率及 振幅进行控制的振荡频率控制器,所述微悬臂固定在所述压电 陶瓷晶体上。
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