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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

接触电阻和电流相关静摩擦的原子力显微镜测量

US10613438 2003-7-3 发明申请

2004-4-15

一种改进的原子力显微镜(AFM)，用于在所施加的力的受控值下对导电薄膜进行接触电阻和/或电流相关的静摩擦测量。所述测量优选在接近薄膜作为微开关阵列指纹传感器中的电极的操作的条件下进行。使第一平面薄膜与沉积在直径为几微米至几十微米的圆球上的第二弯曲薄膜接触。所述第二膜优选是沉积在所述球上和控制所述球运动的臂上的涂层。沉积在臂上的涂层提供到球的接触面的导电路径。