| 基于扫描干涉近场共焦显微镜的光存储系统 |
| US10354807 2003-1-30 发明申请 |
| 2003-8-7 |
| 一种近场干涉光学显微镜系统，包括 : 分束器，其定位成将输入光束分成测量光束和参考光束； 定位成接收测量光束的掩模， 所述掩模包括至少一个孔径，所述孔径的尺寸小于所述输入光束的波长， 其中所述掩模孔径被配置成将所述测量光束的至少一部分耦合到样品以限定近场探测光束，所述样品与所述近场探测光束相互作用以限定近场信号光束； 具有响应光能的元件的检测器； 以及光学器件，其被定位成引导参考光束的至少一部分和近场信号光束的至少一部分以干扰检测器元件。 |
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