显微镜autofocussing模块与使用辅助光光源和两个光束的聚焦检测方法,其模块
 
EP03100111  2003-1-21  发明申请

2003-8-6
 
  用于显微镜系统的自动聚焦模块(2)包括 : 至少两个光源(20,21)每个产生的一个用于聚焦光束(22); 光偏转器或棱镜(27,32)用于偏转的一部分的每个光束分成一束,其被用于照亮物体; 和至少第一和第二检测器(35,45)用于检测从各个光源发出的光反射从所述对象。独立权利要求书是包含用于 : (1)一对应的显微镜系统; (2)自动聚焦方法。根据该方法所测量的是使用所确定的最佳焦点位置第一和第二上的强度检测器。
 
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