| 有源振动补偿装置E。G。用于原子力显微镜，数字化传感器信号，供给到数字数据处理器，用于分析，和控制致动器，因此 |
| DE20303784 2003-3-7 实用新型 |
| 2003-7-31 |
| 该装置包括一个致动器，用于施加力或偏转一个表(11)基于信号从一个或多个传感器(17)。一控制电路(16)接收和处理所述传感器信号和驱动该致动器(S)。一数字数据处理器被用于处理所述传感器信号。一接口包括至少一个A\/D转换器数字化所述传感器用于供给到所述数字数据信号处理器。所述处理器分析传感器产生的信号在不同时间。 |
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