| 具有宽范围变焦能力的超宽带紫外显微镜成像系统 |
| US10958242 2004-10-4 发明申请 |
| 2005-3-17 |
| 一种具有宽范围变焦能力的超宽带紫外(UV)反射光学成像显微镜系统。 所述显微镜系统包括折反射透镜组和变焦管透镜组，所述显微镜系统在深紫外光波长具有高的光学分辨率，放大倍数连续可调，并且具有高的数值孔径。 所述系统集成了诸如物镜，管透镜和变焦光学器件的显微镜模块，以减少部件的数量，并简化系统制造过程。 优选实施例在非常宽的深紫外光谱范围内与全折射变焦管透镜组合提供优异的图像质量。 变焦管透镜被修改以补偿通常会限制性能的较高阶色差。 |
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