| 扫描探针显微镜及扫描方法 |
| US10925049 2004-8-24 发明申请 |
| 2005-3-10 |
| 本发明公开了一种扫描探针显微镜和扫描方法，该扫描探针显微镜和扫描方法能够减少或避免由于探针尖端和样品之间的碰撞而造成的损坏，缩短测量时间，提高吞吐量和测量精度，并且能够在不受粘合水层影响的情况下收集诸如样品表面的形貌数据之类的观测数据。 所述显微镜具有 : 振动单元，用于振动探针尖端；观察单元，用于当尖端接近或接触样品表面时收集观察数据；检测器，用于检测尖端接近或接触样品表面时的振动状态的变化；以及控制单元，用于控制尖端在平行于样品表面的x和y方向以及垂直于样品表面的z方向上的移动。 在收集观测数据之后，控制单元在平行于样品表面的方向上扫描尖端，直到到达X或Y方向上的下一个观测位置。 在扫描期间，如果检测到尖端的振动状态的变化，则控制单元使尖端在Z方向上远离样品表面移动。 |
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