| 原子力显微镜 |
| KR1020030059909 2003-8-28 发明申请 |
| 2005-3-7 |
| 目的 : 一种原子力显微镜是提供以容易和简单地交换一个所述原子力显微镜的悬臂通过允许多个悬臂到一步骤中被交换的操作的。结构 : 一种原子力显微镜包括一个扫描器(20)。和多个悬臂(30)的附着到所述扫描器(20)。该悬臂(30)是通过装置的旋转一驱动单元(40)。探针(32)被设置在所述悬臂的端部(30)在这种方式使所述探针(32)之间的交互是基于上下移动所述的探针(32)和一个表面一个样品(50)。一种光源(60)被设置在所述悬臂的上部分(30)到辐射光朝向所述悬臂(30)。一种光检测器(70)被提供给所述样品检测所述的表面(50)。kipo2005 |