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共焦显微镜和高度测量仪器

JP2003206520 2003-8-7 发明申请

2005-3-3

要解决的问题 : 以具有高检测精度的情况下灵活地处理被强调或其中高速检查时间是所希望的。溶液 : 一个比所述爱里斑的直径之间的一物镜透镜28和所述开口的尺寸这种作为一种共焦的一个狭缝或一销孔盘23被修改。