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产业专利数据

光栅显微镜

JP2004223880 2004-7-30 发明申请

2005-3-3

要解决的问题 : 以提供一个检测器，其可以被用于在一期望的光学测试。溶液 : 该光栅显微镜下具有一光源照射到对象的测试，检测光束路径和一个检测器设置在所述光束从所述对象路径，以检测所发射的光，和还具有一个光注入器，其可使所述光以外的所述发射光到所述光束路径的上方，并将其以所述检测器。