| 用于扫描探针显微镜探针和制造所述的方法相同 |
| WOJP04009911 2004-7-12 发明申请 |
| 2005-3-3 |
| 一个用于一个扫描探针显微镜探针探针和一种制造所述的方法，其中所述探针是能够进行准确的测量没有来自一个悬臂在所述的基与一个待测物体接触和不该对象被隐藏的所述基座的所述探针。一个用于一个扫描探针显微镜探针具有一底座(21，31)，一悬臂(23，33)，用于支持，水平从所述底座延伸(21，31)，和一个悬臂(24，34)用于测量，设置在所述头的所述支撑悬臂(23，33)和具有20微米或更小的长度和厚度的1微米或更小。 |
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