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电子枪及电子显微镜

WOUS23015595 2023-3-20 发明申请

2023-9-21

一种用于电子显微镜或类似装置的电子枪，包括场发射阴极和电极，场发射阴极具有从单晶硅衬底的输出表面延伸的场发射突起，电极被配置成增强来自场发射突起的尖端部分的电子发射以产生主电子束。使用使锡层中的氧化和缺陷最小化的工艺将邻接锡层直接设置在场发射体突起的至少尖端部分上。