| 完全光纤探针扫描式近场光学显微镜 |
| CN200410066391.3 2004-9-15 发明申请 |
| 2005-3-2 |
| 一种完全光纤探针扫描式近场光学显微镜，包括 激光照明系统、监视系统、样品架、光纤探针扫描机构、三维 粗调装置、反馈控制及数据采集系统，基本构思是：将光纤探 针固定在音叉上，通过三维扫描器，带动音叉上的光纤探针在 样品表面附近进行扫描。当光纤探针逼近样品表面时，光纤探 针受到来自样品表面原子剪切力的作用。这个力将改变音叉的 震动，从而可以解调出探针与样品之间的距离信息。将该信息 反馈给Z向控制系统，以使光纤探针到样品表面的距离保持一 恒定值。这一反馈信息反映样品表面的形貌。光纤探针收集到 的光的强度给出了样品的透过率。本发明具有扫描范围大、不 受样品大小限制、高度模块化、方便组合变换等优点。 |
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