| 模块化原子力显微镜 |
| CN200410054324.X 2004-9-7 发明申请 |
| 2005-3-2 |
| 一种模块化原子力显微镜，由7个模块组成：第 一模块为步近电机；第二模块是四维调整的样品架，固定在步 近电机上；第三模块是z向扫描器；第四模块包括微悬臂针尖 和聚焦透镜；第五模块是xy向的扫描器；第六模块包括具有 调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探 测器；第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本发 明模块化原子力显微镜的调整和更换方便；利用各模块又很容 易搭建不同结构的原子力显微镜；样品具有粗定位的功能。 |
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