| 一种扫描探针显微镜探针驱动装置 |
| CN200410070003.9 2004-7-30 发明申请 |
| 2005-3-2 |
| 本发明公开了一种扫描探针显微镜的探针驱动 装置，包括固定槽、夹紧套层、滑块、剪切晶体和压电陶瓷管， 滑块通过固定在其外表面相对两侧的两对剪切晶体设置在夹 紧套层内，与矩形套层夹紧并可沿其内壁滑动，夹紧套层通过 固定在其外壁相对两侧的两对剪切晶体设置在固定槽内，与固 定槽夹紧并可沿与所述滑块上剪切晶体驱动方向垂直的方向 横向滑动，压电陶瓷管与滑块轴向固定，与滑块连接的压电陶 瓷管负责探针纵向移动，与探针连接的压电陶瓷管负责三维方 向上位置的细调。该装置可在非常有限的小空间内实现扫描探 针显微镜的探针(或样品)位置在三维方向上大范围地高精度调 节。 |
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