扫描隧道显微镜的探针及其制造方法。
 
JP2003280672  2003-7-28  发明申请

2005-2-24
 
  要解决的问题 : 以提供一种一种扫描隧道显微镜中使用的探针与一非常尖锐的尖端和高的强度和其制造方法。溶液 : 在所述的探针10所述扫描隧道显微镜及其制造方法,该探针10被形成从金属如钨,所述探头10的尖端表面12具有一个缓冲层,例如一种碳化涂布膜,和一种碳纳米管13从所述缓冲层是扩展这样的作为该碳化的涂层膜该尖端表面12所述探针的10。
 
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